Σκοπός του έργου NanoMet είναι η ανάπτυξη ενός διαστατικού μετρολογικού συστήματος το οποίο θα είναι μη-καταστροφικό, οικονομικά αποδοτικό, έχοντας τη δυνατότητα καταγραφής δεδομένων σε πραγματικό χρόνο. Το σύστημα μετρολογίας θα στηρίζεται σε οπτικές μη-καταστροφικές μετρήσεις οι οποίες θα παρέχουν σε πραγματικό χρόνο πληροφορίες για τις κρίσιμες διαστάσεις και την εξέλιξη των χαρακτηριστικών των παραγόμενων νανοδομημένων υλικών. Συγκεκριμένα θα εξάγονται σε πραγματικό χρόνο πληροφορίες για το πάχος του υλικού εναπόθεσης και αποτύπωσης καθώς και για τις διαστάσεις των αποτυπωμένων δομών. Σημαντικό στοιχείο για όλες τις παραπάνω μετρήσεις και για την αξιολόγηση τις μεθόδου μετρολογίας είναι ο έλεγχος του πολυμερικού υλικού αποτύπωσης.

Συνεργαζόμενοι φορείς: ΕΚΕΦΕ «Δημόκριτος» (INN), ThetaMetrisis, Nanotypos